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首页 > 客户服务 > 干式涡旋真空泵常识

真空泵的选型经验介绍

1.真空泵的工作真空度应该满足真空设备的极限真空度及工作真空度要求
  通常真空泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
  如:真空镀膜要求1×10-3 Pa的真空度,真空泵的真空度至少要5×10-3 Pa。
  另外真空泵要尽可能在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
  应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。
2.正确地选择真空泵的工作范围
  每种泵都有一定的工作真空度范围,如:无油涡旋真空泵为1~10e5 Pa,在这样宽的真空度范围内,泵的抽速随真空度而变化,其稳定的工作真空度范围为10~5×10e4 Pa。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在1Pa附近或者10e5 Pa下长期工作。
3.真空泵在其工作真空度下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量
4.正确地组合真空泵

  由于真空泵有选择性抽气,因此当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。
  如果有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空,如罗茨泵,就可以把罗茨泵与无油涡旋真空泵组合起来使用,用无油涡旋真空泵作为预抽泵,达到其要求的启动真空,实现大真空抽速;有的真空泵出口真空度低于大气压,如复合分子泵,需要前级泵,就可以用无油涡旋真空泵作为前级泵,提供复合分子泵需要的启动真空度;实现高极限真空度。
5.真空设备对油污染的要求
  若设备严格要求无油时,应该选各种无油真空泵,如:无油涡旋真空泵、无油螺杆真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
6.确定被抽气体成分
  气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等都要在选择真空泵时事先确定。选择真空泵时,首先要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵;如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如过滤器、冷凝器、除尘器等。
7.确定真空泵排出的油蒸汽对环境的影响
  如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,如:无油涡旋真空泵、无油螺杆真空泵等。
8.确定真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响
  若工艺过程不允许有振动,应选择无振动的泵或者采取防振隔振措施。
9.确定真空泵的价格、运转及维修费用
  选择泵时,首先要考虑真空泵的可靠性。其次不但要考虑采购费用,即购买价格,还要考虑运行费用,即运转及维修费用,综合考虑,才能确定生产成本,选出真正优质可靠的真空泵,10.真空泵的最佳工作范围:
  无油涡旋真空泵:10e5~1 Pa
  罗茨泵:10e2~1 Pa
  复合分子泵:5×10~10e-7 Pa
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