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首页 > 客户服务 > 干式涡旋真空泵常识

真空泵在真空系统中所起的作用

  选用真空泵时必须明确真空泵在真空系统中所承担的工作任务,各种真空泵在不同工作领域真空系统中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面:
1.主泵
  真空系统包括主泵与前级泵、维持泵、增压泵等。其中主泵就是对真空系统被抽容器直接抽真空,以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。
2.前级泵(粗抽泵)
  前级泵,也称粗抽泵,是指真空系统中从大气压开始对腔体抽真空,使腔体真空度达到另一高真空泵可以开始工作并能维持在其最高许可的前级真空度下工作的真空泵。
3.粗真空泵或低真空泵
  粗、低真空泵是指从大气开始对腔体抽真空,使腔体真空度达到要求的真空度范围内的真空泵。
4.高真空泵
  高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。一般由低真空泵做前级泵,大气下启动,抽到高真空泵启动需要的真空度后,高真空泵开始抽真空工作。
5.超高真空泵
  超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。一般由低真空泵做前级泵,大气下启动,抽到高真空泵启动需要的真空度后,高真空泵开始抽真空工作,抽到超高真空泵启动需要的真空度,超高真空泵才开始工作。
6.维持泵
  维持泵是指当真空系统抽气量很小时,不能有效的利用主要前级泵。为此,在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。
7.增压泵
  增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。
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