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 GWMS
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GWMS系列无油超高真空机组

GWMS系列无油超高真空机组由复合分子泵 、无油涡旋真空泵 、控制阀门 、电控系统 、真空管路 、机架等组成, 用于创造无油超高真空环境。
技术指标 工作原理 主要用途

 

    机组型号

GWMS100/150

GWMS300/150

GWMS600/300

GWMS1200/600

GWMS1600/1000

    抽速

l/s

110

300

500

1200

1600

l/min

6.6*103

1.8*104

3.0*104

7.2*104

9.6*104

m3/h

3.9*102

1.1*103

1.8*103

4.3*104

5.8*104

cfm

2.2 *102

6.0*102

1.0*103

2.5*104

3.4*104

    极限真空度

Pa

≤1.0*10-5

≤1.0*10-5

≤1.0*10-5

≤1.0*10-5

≤1.0*10-5

mbar

≤1.0*10-7

≤1.0*10-7

≤1.0*10-7

≤1.0*10-7

≤1.0*10-7

Torr

≤7.5*10-8

≤7.5*10-8

≤7.5*10-8

≤7.5*10-8

≤7.5*10-8

psi

≤1.4*10-9

≤1.4*10-9

≤1.4*10-9

≤1.4*10-9

≤1.4*10-9

    噪音

dB(A)

≤63

≤63

≤63

≤63

≤63

    启动时间

min

 

<3

    最大进/排气压力

MPa

 

0.1/0.13

    工作环境温度

 

5~40

    冷却方式

 

 

风冷

    电机

 

 

单相,220v (50Hz),三相,380V (50Hz)

    进/排气口尺寸

 

CF100/KF16

CF150/KF16

CF150/KF16

CF200/KF16

CF250/KF16*2

    外形尺寸

mm

500*510*680

730*570*700

730*570*700

950*570*730

990*630*880

 

使用注意事项

      GWMS系列无油超高真空机组用于抽干燥 、洁净的气体,  不能用于抽对人体有害 、易爆、 易燃或腐蚀性气体,  也不能用于抽含有化学品 、溶剂以及能生成粉末的物质,  以免由于毒气 、 爆炸 、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。

      进气温度不能高于50℃,  如果超过该温度,  必须在进气管路上安装冷却装置,  使进气温度低于50℃。

      GWMS系列无油超高真空机组由复合分子泵、无油涡旋真空泵、控制阀门、电控系统、真空管路、机架等组成,用于创造无油超高真空环境。

特点

创造无油超高真空

极限真空度高,达到 6x10-7Pa

清洁无油,不污染被抽腔体

能够连续工作

7*24小时连续运行,可靠耐用

低噪音,低振动

63分贝,工作环境舒适健康

适合全球电源

110/220/380/460V, 50/60Hz任选 

 

用途

半导体行业

真空镀膜-磁控溅射、激光溅射、蒸发镀膜

航空航天

空间环境模拟、材料加工处理

检测分析

加速器、质谱仪、能谱仪、扫描电镜

真空检漏

He质谱检漏

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产品名称
产品编号: GWMS系列
GWMS系列无油超高真空机组
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