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机组型号 |
GWMS100/150 |
GWMS300/150 |
GWMS600/300 |
GWMS1200/600 |
GWMS1600/1000 |
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抽速 |
l/s |
110 |
300 |
500 |
1200 |
1600 |
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l/min |
6.6*103 |
1.8*104 |
3.0*104 |
7.2*104 |
9.6*104 |
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m3/h |
3.9*102 |
1.1*103 |
1.8*103 |
4.3*104 |
5.8*104 |
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cfm |
2.2 *102 |
6.0*102 |
1.0*103 |
2.5*104 |
3.4*104 |
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极限真空度 |
Pa |
≤1.0*10-5 |
≤1.0*10-5 |
≤1.0*10-5 |
≤1.0*10-5 |
≤1.0*10-5 |
|
mbar |
≤1.0*10-7 |
≤1.0*10-7 |
≤1.0*10-7 |
≤1.0*10-7 |
≤1.0*10-7 |
|
|
Torr |
≤7.5*10-8 |
≤7.5*10-8 |
≤7.5*10-8 |
≤7.5*10-8 |
≤7.5*10-8 |
|
|
psi |
≤1.4*10-9 |
≤1.4*10-9 |
≤1.4*10-9 |
≤1.4*10-9 |
≤1.4*10-9 |
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|
噪音 |
dB(A) |
≤63 |
≤63 |
≤63 |
≤63 |
≤63 |
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启动时间 |
min |
|
＜3 |
|||
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最大进/排气压力 |
MPa |
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0.1/0.13 |
|||
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工作环境温度 |
℃ |
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5～40 |
|||
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冷却方式 |
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风冷 |
|||
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电机 |
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单相，220v (50Hz)，三相，380V (50Hz) |
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进/排气口尺寸 |
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CF100/KF16 |
CF150/KF16 |
CF150/KF16 |
CF200/KF16 |
CF250/KF16*2 |
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外形尺寸 |
mm |
500*510*680 |
730*570*700 |
730*570*700 |
950*570*730 |
990*630*880 |
GWMS系列无油超高真空机组用于抽干燥 、洁净的气体， 不能用于抽对人体有害 、易爆、 易燃或腐蚀性气体， 也不能用于抽含有化学品 、溶剂以及能生成粉末的物质， 以免由于毒气 、 爆炸 、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。
进气温度不能高于50℃， 如果超过该温度， 必须在进气管路上安装冷却装置， 使进气温度低于50℃。
GWMS系列无油超高真空机组由复合分子泵、无油涡旋真空泵、控制阀门、电控系统、真空管路、机架等组成，用于创造无油超高真空环境。
特点
创造无油超高真空
极限真空度高，达到 6x10-7Pa
清洁无油，不污染被抽腔体
能够连续工作
7*24小时连续运行，可靠耐用
低噪音，低振动
63分贝，工作环境舒适健康
适合全球电源
110/220/380/460V, 50/60Hz任选
用途
半导体行业
真空镀膜-磁控溅射、激光溅射、蒸发镀膜
航空航天
空间环境模拟、材料加工处理
检测分析
加速器、质谱仪、能谱仪、扫描电镜
真空检漏
He质谱检漏
产品信息
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