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无油超高真空机组-GWMS

技术指标

机组型号

GWMS100/150

GWMS600/300

GWMS1200/600

GWMS1600/1000

主抽泵型号

FF-100

JTFB-600

JTFB-1200

JTFB-1600

前级泵型号

GWSP150

GWSP300

GWSP600

GWSP1000

抽速

l/s

110

500

1200

1600

l/min

6.6x103

3.0x104

7.2x104

9.6x104

m3/h

3.9x102

1.8x103

4.3x104

5.8x104

cfm

2.3 x102

1.1x103

2.3x103

3.4x103

极限真空度

Pa

≤6.0x10-7

≤6.0x10-7

≤6.0x10-7

≤6.0x10-7

Torr

≤4.5x10-9

≤4.5x10-9

≤4.5x10-9

≤4.5x10-9

psi

≤8.7x10-11

≤8.7x10-11

≤8.7x10-11

≤8.7x10-11

噪音

dB(A)

≤63

≤63

≤63

≤63

启动时间

min

≤3

最大进/排气压力

MPa

0.1/0.13

工作环境温度

5~40

冷却方式

 

风冷

电源

 

三相380/220V/50Hz或单相220/50Hz

进气口方向

 

任意角度安装

垂直安装

垂直安装

垂直安装

进/排气口尺寸

 

CF100 KF16

CF150/ KF16

CF200/KF16

CF250/KF16x2

外形尺寸

mm

500x510x680

730x570x700

950x570x730

990x630x880

 

 

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