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解决方案

半导体行业

近年来,受芯片制造、液晶注入、太阳能光伏、电子器件、薄膜等泛半导体行业的带动,可靠耐用、极限真空度高、噪音低、能够长期连续运行等指标成为对无油真空泵的标准要求。纪维无油涡旋真空泵因为具备这些特点而得到越来越广泛的应用。

半导体行业纪维无油涡旋真空泵应用的设备包括磁控溅射镀膜机、芯片等离子清洗机、芯片等离子抛光机、无油真空芯片包装机等。这些设备应用的无油涡旋真空泵产品包括:

芯片等离子清洗机

由于清洁无油、能够连续工作、运行平稳可靠等特点,GWSP、GWSPS系列无油涡旋真空泵被广泛等离子清洗系统采用,为电子设备/集成电路的清洗、激活和还原、键合和键合的预处理、医疗手术镶嵌件和支架的清洗和消毒等提供清洁的无油真空环境。

芯片等离子抛光机

GWSP系列无油涡旋真空泵、GWMS系列无油超高真空机组由于清洁无油、能够连续工作、运行平稳可靠等特点被应用于等离子抛光系统。能够有效提供无油清洁的真空环境,确保抛光系统对工件表面进行化学活化,去除表面分子污染层以及表面与化学品的交联。

磁控溅射设备

纪维无油涡旋真空泵广泛应用于磁控溅射系统中,用于为高质量薄膜提供清洁的真空环境。能够大幅度提高产品合格率,创造更好的经济效益。 根据溅射系统的结构、腔体容积、工作真空度、工作节拍要求,GWSP、GWSPS系列无油涡旋真空泵、GWMS系列无油超高真空机组分别被应用于各种科研与生产型设备上。

IC芯片封装设备

GWSP、GWSPS系列无油涡旋真空泵用于IC封装系统,在清洁的真空环境中实现内部芯片与外部电路的连接,防止空气中杂质对芯片电路的腐蚀,提高芯片的可靠性。

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