1.组成
GWMS系列无油超高真空机组主要由主抽泵（复合分子泵）、前级泵（无油涡旋真空泵）、控制阀门、电控系统、真空管路等组装于机架上而成的清洁无油超高真空获得设备。
2.技术指标
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机组型号 |
GWMS100/150 |
GWMS600/300 |
GWMS1200/600 |
GWMS1600/1000 |
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主抽泵型号 |
FF-100 |
JTFB-600 |
JTFB-1200 |
JTFB-1600 |
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前级泵型号 |
GWSP150 |
GWSP300 |
GWSP600 |
GWSP1000 |
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抽速 |
l/s |
110 |
500 |
1200 |
1600 |
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l/min |
6.6x103 |
3.0x104 |
7.2x104 |
9.6x104 |
|
m3/h |
3.9x102 |
1.8x103 |
4.3x104 |
5.8x104 |
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cfm |
2.3 x102 |
1.1x103 |
2.3x103 |
3.4x103 |
|
极限真空度 |
Pa |
≤6.0x10-7 |
≤6.0x10-7 |
≤6.0x10-7 |
≤6.0x10-7 |
|
Torr |
≤4.5x10-9 |
≤4.5x10-9 |
≤4.5x10-9 |
≤4.5x10-9 |
|
psi |
≤8.7x10-11 |
≤8.7x10-11 |
≤8.7x10-11 |
≤8.7x10-11 |
|
噪音 |
dB(A) |
≤63 |
≤63 |
≤63 |
≤63 |
|
启动时间 |
min |
≤3 |
|
最大进/排气压力 |
MPa |
0.1/0.13 |
|
工作环境温度 |
℃ |
5～40 |
|
冷却方式 |
|
风冷 |
|
电源 |
|
三相380/220V/50Hz或单相220/50Hz |
|
进气口方向 |
|
任意角度安装 |
垂直安装 |
垂直安装 |
垂直安装 |
|
进/排气口尺寸 |
|
CF100 KF16 |
CF150/ KF16 |
CF200/KF16 |
CF250/KF16x2 |
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外形尺寸 |
mm |
500x510x680 |
730x570x700 |
950x570x730 |
990x630x880 |
3.特点
GWMS系列无油超高真空机组能提供大抽速的清洁无油高真空环境，安装方便，性能稳定，可靠耐用，是理想的无油超高真空抽气系统。
4.主要用途
GWMS系列无油超高真空机组主要应用在镀膜、真空炉、 手套箱、排气台、检漏仪、激光加工、 刻蚀机、表面科学、电真空器件制造、高能物理、真空预处理等无油超高真空抽气系统应用中。
5.使用注意事项
GWSP系列无油涡旋真空泵用于干燥、洁净的气体抽真空。不能用于对人体有害、易燃易爆、腐蚀性气体或者含有化学品、溶剂以及能生成粉末的物质。
进气温度不能超过50℃，如果超过该温度，必须在进气管路上安装冷却装置，使进气温度低于50℃。
6.应用实例
无油超高真空分子泵机组
无油超高真空分子泵机组
检漏仪 真空镀膜设备 真空预处理室 气体回收装置
真空炉 无油超高真空分子泵机组 手套箱
7.常见问题与解答
问：发送询价后，多长时间我能得到反馈？
答：我们将在工作日12小时内给您答复。
问：你们是生产厂吗？
答：我们是生产工厂，我们自己生产干式涡旋真空泵、干式涡旋真空压缩机产品和配件，并提供OEM技术服务。
问：交货期多长时间？
答：我们有计划足够的产品库存，保证合同签订后2日内发货。
问：如何保证产品的质量？
答：我们在生产过程中从原材料到产品发运都进行严格的检测。每件产品在出厂前必须经过铸造、加工、装配和性能测试4个阶段的检验，并进行完整的出厂前终检。
问：产品的保修期是多长时间？
答：从到货之日起，我们的产品有12个月的保修期。
问：样品有货吗？
答：有，通常我们把样品由德邦、顺丰、Fedex、DHL、TNT、UPS、EMS发送，客户负责样品相关费用，如样品的成本和运费。收到订单后，我们将退还样品费。
问：如果被抽气体含有微量粉尘怎么办？
答：请一定在泵进气口之前安装进气过滤器，防止粉尘颗粒进入泵中，以保证泵能正常工作。
问：如果被抽气体会形成微量粉尘怎么办？
答：请一定在泵进气口之前安装冷却过滤装置，降低进气温度，让粉尘在进入泵口之前形成并被过滤掉，防止粉尘颗粒进入泵中，以保证泵能正常工作。
问：如果被抽气体含有微量水蒸气怎么办？
答：请一定在泵进气口之前安装汽水分离器，让水份在进入泵口被分离掉，防止水进入泵中，以保证泵能正常工作。如果水蒸气被误抽进入了泵中，要按照使用说明书指示，开启气镇阀，抽除水汽。
问：干式涡旋真空泵的工作寿命多长时间？
答：正常工作条件下五年。
问：干式涡旋真空泵泵的维护间隔多长时间？
答：连续运转每一年时间或者8000小时以上，需要更换密封条，每两年需要更换大修组件。用户可以自己独立完成维护、也可以选择用户当地的维修商、或者我们工厂完成维护工作。
如果用户需要，我们提供维护技术培训与支持。
8.相关产品与配件
干式涡旋真空泵进气过滤器 干式涡旋真空泵排气消音器
干式涡旋真空泵大修组件 干式涡旋真空泵密封条组件 OEM密封条
9.工厂内景
机加车间一角
仓库一角
等待发货的干式涡旋真空泵产品
10.包装与发货
牢固、可靠的产品包装
可靠、快速的国内国际运输
