技术指标
工作原理
主要用途
| 型号 | 单位 | GWMS100/150 | GWMS300/150 | GWMS600/300 | GWMS1200/600 | GWMS1600/1000 |
| 分子泵型号 | GWFB-110 | GWFB-300 | GWFB-600 | GWFB-1200 | GWFB-1600 | |
| 前级泵型号 | GWSP150 | GWSP150 | GWSP300 | GWSP600 | GWSP1000 | |
| 分子泵 抽气速度 |
l/s | 110 | 300 | 600 | 1200 | 1600 |
| m3/h | 3.96*102 | 1.08*103 | 2.16*103 | 4.32*103 | 5.76*103 | |
| cfm | 2.20*102 | 6.36*102 | 1.06*103 | 2.54*103 | 3.39*103 | |
| 前级泵 抽气速度 |
l/s | 2.0 | 2.0 | 4.3 | 8.7 | 16.6 |
| m3/h | 7.2 | 7.2 | 15.5 | 31.3 | 59.8 | |
| cfm | 4.2 | 4.2 | 9.1 | 18.4 | 35.2 | |
| 极限真空度 | Pa | 5.00*10-5 | 2.00*10-5 | 2.00*10-5 | 2.00*10-5 | 2.00*10-5 |
| Torr | 3.75*10-7 | 1.50*10-7 | 1.50*10-7 | 1.50*10-7 | 1.50*10-7 | |
| psi | 7.25*10-9 | 2.90*10-9 | 2.90*10-9 | 2.90*10-9 | 2.90*10-9 | |
| 电源 | 单相 / 三相电机，220V / 380V，50Hz / 60Hz | |||||
| 高真空法兰 | CF100/ISO-K100 | CF100/ISO-K100 | CF150/ISO-K160 | CF200/ISO-K200 | CF250/ISO-K250 | |
| 前级管道法兰 | -- | KF25 | KF40 | KF40 | KF50 | |
| 排气口法兰 | KF16 | KF16 | KF16 | KF16 | KF16*2 | |
| 噪音 | dB(A) | ≤57 | ≤57 | ≤63 | ≤63 | ≤67 |
| 重量 | kg | 54 | 68 | 155 | 163 | 188 |
| 外形尺寸 | mm | 500*510*840 | 690*526*550 | 860*776*850 | 860*776*850 | 860*776*850 |
| 工作环境温度 | ℃ | 5~40 | ||||
| 冷却形式 | 风冷 | |||||
使用注意事项
GWMS系列无油超高真空机组用于抽干燥 、洁净的气体， 不能用于抽对人体有害 、易爆、 易燃或腐蚀性气体， 也不能用于抽含有化学品 、溶剂以及能生成粉末的物质， 以免由于毒气 、 爆炸 、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。
进气温度不能高于50℃， 如果超过该温度， 必须在进气管路上安装冷却装置， 使进气温度低于50℃。
GWMS系列无油超高真空机组由复合分子泵、无油涡旋真空泵、控制阀门、电控系统、真空管路、机架等组成，用于创造无油超高真空环境。
特点
创造无油超高真空
极限真空度高，达到 2x10-5Pa
清洁无油，不污染被抽腔体
能够连续工作
7*24小时连续运行，可靠耐用
低噪音，低振动
57~67分贝，工作环境舒适健康
适合全球电源
110/220/380/460V, 50/60Hz任选
用途
半导体行业
真空镀膜-磁控溅射、激光溅射、蒸发镀膜
航空航天
空间环境模拟、材料加工处理
检测分析
加速器、质谱仪、能谱仪、扫描电镜
真空检漏
He质谱检漏
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