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GWMS系列无油超高真空机组

技术指标

机组型号

GWMS110/150

GWMS600/300

GWMS1200/600

GWMS1600/1000

主抽泵型号

FF-100/110

FF-160/620

FF-200/1200

FF-250/1600

前级泵型号

GWSP150

GWSP300

GWSP600

GWSP1000

抽速

l/s

110

600

1200

1600

l/min

6.6*103

3.6*104

7.2*104

9.6*104

m3/h

3.9*102

2.2*103

4.3*103

5.8*103

cfm

2.3*102

1.3*103

2.5*103

3.4*103

极限真空度

Pa

≤6.0*10-7

≤6.0*10-7

≤6.0*10-7

≤6.0*10-7

Torr

≤4.5*10-9

≤4.5*10-9

≤4.5*10-9

≤4.5*10-9

psi

≤8.7*10-11

≤8.7*10-11

≤8.7*10-11

≤8.7*10-11

噪音

dB(A)

≤63

≤63

≤63

≤63

启动时间

min

≤3

最大进/排气压力

MPa

0.1/0.13

工作环境温度

5~40

冷却方式

 

水冷或风冷

电源

 

三相380/220V/50Hz或单相220/50Hz

进气口方向

 

任意角度安装

垂直安装

垂直安装

垂直安装

进/排气口尺寸

 

CF100/KF16

CF150/KF16

CF200/KF16

CF250/KF16*2

外形尺寸

mm

500*510*685

730*520*700

950*570*730

990*630*880

 

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